マイクロ波発生装置 |
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| 長野日本無線(株)はオールソリッドステートマイクロ波発生装置を供給しています。 出力・周波数の安定性が格段に向上し変調、インターバル出力等新機能の実現を可能にしました。 我々長野日本無線のオールソリッドマイクロ波発生装置は新しい可能性のお手伝いをいたします。 |
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| NJZ-2450A/2451 |
| 概 要 |
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半導体製造装置及び産業用途向け、オールソリッドステート2.45GHz 150Ｗ出力マイクロ波電源装置 |
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| 構 成 |
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マイクロ波電源、自動整合器、自動整合器コントローラ |
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| 特 長 |
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GaAs FETの分割電力増幅器方式により、高出力及び高信頼性を実現。 |
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オールデジタル制御 による、出力/周波数の自動安定制御、及び可変制御。 |
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パルス変調型プラズマ用電源として、内部/外部パルス変調機能。 |
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１９ｲンチラックマウント(2U)サイズの小型化を実現。 |
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同軸スラグ方式チューナとIC化による高精度検波器採用で、全インピーダンス領域の整合が可能。メカトロ技術により高速整合応答を実現。 |
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マイクロ波電源、自動整合器、および伝送路の全構成が同軸系で接続可能。 |
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| 主要性能 |
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マイクロ波電源(NJZ-2450A) |
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・周波数 | 2.45GHz帯（可変範囲2450±30MHz） |
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・周波数安定度 | 設定周波数 Fo±20ppm |
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・最大定格出力 | 150W (CW連続) /強制空冷 |
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・出力電力安定度 | ±2%以内(150W) |
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・出力可変 | 10〜150W |
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・パルス変調 | 5KHz〜200KHｚ Duty 20〜80％ |
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・寸法 | W437.8×H99×D420mm |
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・消費電力 | 650VA |
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・入力電源 | AC85V〜250V（単相）（50〜60Hz） |
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自動整合器(NJZ-2451)、コントローラ |
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・方式 | 同軸スラグ方式 |
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・整合範囲 | VSWR≦10 |
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・整合値 | VSWR=1.5以内（50Ω疑似負荷時） |
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・整合時間 | 2秒以内（スケジューリング整合モード時） |
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・寸法 | W215×H122×D433 mm（自動整合器） |
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・寸法 | W430×H99×D150 mm（コントローラ） |
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・消費電力 | 75VA |
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・入力電源 | AC85V〜250V（単相）（50〜60Hz） |
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| ●整合器 | ●コントローラ | |
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